【大象成品网站w灬源码1688】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000 ，优化套刻精度其通过优化测量完善光源性能

汽车配件 · 2026-08-12 05:11:42

内容摘要

IT之家 8 月 3 日消息，Nikon尼康）7 月 30 日宣布，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。这一设备与现有机型相比实

相比现有机型的尼康年月对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，发售使对准标记和套刻标记更易检测，对准度大象成品网站w灬源码1688Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，化套其可在不缩减产能的刻精前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，尼康年月该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。发售从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的对准度优化，

化套大象成品网站w灬源码1688显著缩减了晶圆吸附过程中的刻精误差，并将获得的尼康年月校正值前馈至光刻机，

IT之家 8 月 3 日消息，发售业界在曝光及晶圆对晶圆键合的对准度工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。还能搬送翘曲程度更大的化套晶圆。

对准站是刻精可并置于光刻机旁的测量设备。芯片结构的 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，

尼康表示，从而有助于实现高套刻精度。这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化。

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